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氮化钛与Plasma氧气是否反应 已有1人参与
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有哪位大神知道氮化钛薄膜与Plasma去胶机里的氧气会反应吗？ 等离子去胶法：去胶气体为氧气。其工作原理是将硅片置于真空反应系统中，通入少量氧气，加1500 V高压，由高频信号发生器产生高频信号，使石英管内形成强的电磁场，使氧气电离，形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物的等离子体的辉光柱。活化氧（活泼的原子态氧）可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体，被机械泵抽走，这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除了。 我是想把硅片换为有氮化钛薄膜的蓝宝石基底的片子，所以产生了上述问题，多谢大神。 |
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 薄膜制备与特性 |
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2楼2021-09-25 16:04:49
jiagle
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