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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 为什么透射电子制样时，离子减薄要用氩气而不是其他气体？
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454331171

铜虫 (初入文坛)

[求助] 为什么透射电子制样时，离子减薄要用氩气而不是其他气体？ 已有1人参与

如果换成其他惰性气体可不可以？
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1楼 2016-05-12 17:20:54
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evil.god

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
454331171: 金币+15, ★★★★★最佳答案, 非常感谢 2016-05-16 22:18:51
常用的做保护的惰性气体主要是氩气和氦气，但是氩气比氦气便宜得多。高纯氦气甚至要进口
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

454331171
从事钛合金的相变、显微组织调控、变形机理、强韧化及应用等研究
2楼2016-05-13 13:25:46
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454331171

铜虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by evil.god at 2016-05-13 13:25:46
常用的做保护的惰性气体主要是氩气和氦气，但是氩气比氦气便宜得多。高纯氦气甚至要进口

谢谢。那为什么随入射角增大，减薄速率先增大后减小，而深度一直增加(0到90度范围)

发自小木虫IOS客户端
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3楼2016-05-13 19:18:51
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昕鑫歆信

金虫 (初入文坛)
我觉得用氩气主要看中的是惰性气体单原子气体的特点吧，无论化学稳定性、形成等离子体等方面都好于分子气体吧~~~
至于减薄过程，还真是不很了解，希望得到解答后能@我一下~
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是非本无绝对，答案何须完美~~A·Iverson
4楼2016-05-15 01:22:16
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evil.god

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 454331171 at 2016-05-13 19:18:51
谢谢。那为什么随入射角增大，减薄速率先增大后减小，而深度一直增加(0到90度范围)
...

离子减薄的原理估计大家都知道，就是氩气被电离成氩离子，加速后形成氩离子流轰击样品表面，带走物质，因此减薄速度很慢。
        加速电压高，离子流的冲击的速度就快一些，减薄的速度也就快一些，但是有可能会造成样品损伤；离子流如果与样品成直角入射，减薄速度也会快一些，但是会造成楔形区太小，当然薄区的面积也就太小，这些对于TEM观察都是不利的。因此离子减薄制样时开始使用小入射角高加速电压（快速减薄），减薄到一定厚度之后，为了避免损伤样品，同时增大楔形区（薄区），改用大入射角低加速电压减薄。可以参考水柱喷冰块的原理。
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从事钛合金的相变、显微组织调控、变形机理、强韧化及应用等研究
5楼2016-05-16 14:38:41
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