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咸鱼007

铁虫 (初入文坛)

[求助] 聚酰亚胺

楼主大一学生一枚,现在参加一个比赛(文献综述),楼主选择了低介电含氟聚酰亚胺(在微电子领域应用)的性能。现在想请教一下高年级的学长学姐,高校教授,相关领域的专业人士:在聚酰亚胺中引入氟元素降低介电常数的同时,对其他性能的影响及在微电子领域应用的特殊要求(如果可以简单地说明一下原因的话就更感谢了).楼主自己查了很多文献 ,没有经验,现在还不知道往哪几个方向去查文献,写综述。楼主先行谢谢了。@qsywp
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天蝎尾

新虫 (小有名气)

刚好我这在找这方面的文献,小白一枚,刚刚看到文献上说“引入含氟组成,会导致材料粘结性低,高温下释放氢氟酸具有强腐蚀性,有害环境”,其余的我还没看到,慢慢找慢慢学
3楼2019-09-10 14:57:43
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咸鱼007

铁虫 (初入文坛)

再说一句,是用于集成电路中降低绝缘层介电常数的
2楼2016-05-10 00:53:27
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