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joyzhou

木虫 (小有名气)

[交流] 流量计回零!!!

各位大虾?由一个问题需要请教!
我用流量计控制二甲醚气体的流量,前些日子一直很正常,最近突然流量计的分压总是回零,然后就没有气体了。而用相同的流量计控制别的气体就没有问题。请大侠赐教我的问题出在哪里了。万分感激!!!

[ Last edited by nxl5096224 on 2008-10-31 at 16:34 ]
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peclhl

木虫 (正式写手)


^_^@^_^(金币+1,VIP+0):QQQ
气路进出口压力降最好控制在0.1-03Mpa之间,开到冲洗档,用氮气冲洗一段时间再试试看看
浙江新创纳电子科技有限公司:专注高纯硅溶胶、cmp抛光液、无机环保建筑材料领域研发生产和销售:https://www.vrcmp.com/
5楼2008-10-30 16:00:10
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mland

木虫 (著名写手)


^_^@^_^(金币+1,VIP+0):QQQ
该流量计你试过别的气体吗
有时候会疲劳的,每次试验完后最好卸掉压力
重启试试看
2楼2008-10-29 16:32:43
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zhangwengui330

荣誉版主 (职业作家)

优秀版主

你不会气体在里面毛细冷凝了吧,毛细冷凝后就会出现你这个现象
3楼2008-10-30 12:37:36
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163trickle

木虫 (小有名气)

会不会有旁路气体压力比较高,使二甲醚的流量计中出现倒流?我出现过这种情况。如果是的话建议改变下压力。
红梅一笑绽芬芳袖舞冬风傲雪霜添色何须着艳笔香飘万里赛高阳
4楼2008-10-30 14:57:11
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