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勿忘心安里铁虫 (小有名气)
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[求助]
光刻机的曝光时间确定
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光刻机的曝光时间确定，我们需要的曝光能量是40-45mj/cm^2,但在判定曝光功率时，测定示数一直显示1460uw(原来是4000uw,曝光时间是10s);现在把曝光时间设定为20s或30s,测定示数还是显示1460uw。 分析原因：1.可能紫外线（i线）本身能量不足，但也不至于这样啊； 2.测功率值得仪器出现问题，但也不会无缘无故就坏了啊。 |
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victoryn 
新虫 (初入文坛)
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- 专业: 集成电路制造与封装
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我们公司「西安矽美微电子设备有限公司」专门从事晶圆旋干机，氮气烘干机，晶圆清洗机，光刻胶涂布机，显影机，热板炉，HMDS预处理系统，晶圆切割机，晶圆划片机，晶圆贴膜机的设计生产和销售，可按客户工艺要求进行客制化定做。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2016-12-03 17:43:22
