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crysdream

银虫 (正式写手)

[求助] 高阻半导体用什么方法测试电阻率比较靠谱 已有1人参与

电阻率在兆欧以上的话,用什么方法可以测试电阻率呢,需不需要考虑电极与材料的接触问题

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

这个确实阻值好大啊,普通的测试方法已经不行了。
最直接的方法就是直接做电极测电阻了,但是确实要考虑接触的问题,金半接触就测不了电阻了。表面做掺杂,做低阻是肯定需要的了。
2楼2016-05-04 12:55:27
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crysdream

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-05-04 12:55:27
这个确实阻值好大啊,普通的测试方法已经不行了。
最直接的方法就是直接做电极测电阻了,但是确实要考虑接触的问题,金半接触就测不了电阻了。表面做掺杂,做低阻是肯定需要的了。

高阻,情况下能形成欧姆接触不?

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3楼2016-05-10 20:23:44
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

是单晶还是原料多晶?是单晶的话测下电活性杂质含量,算下理论值?

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是金子总会发光!!!
4楼2016-05-10 21:22:39
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crysdream

银虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2016-05-10 21:22:39
是单晶还是原料多晶?是单晶的话测下电活性杂质含量,算下理论值?

直接测试更好吧,杂质含量可能也很难测准

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5楼2016-05-10 22:56:35
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

引用回帖:
5楼: Originally posted by crysdream at 2016-05-10 22:56:35
直接测试更好吧,杂质含量可能也很难测准
...

测杂质的话有很多可选的技术,质谱、光谱,不用做电接触
是金子总会发光!!!
6楼2016-05-10 23:03:46
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crysdream

银虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2016-05-10 23:03:46
测杂质的话有很多可选的技术,质谱、光谱,不用做电接触...

但是晶体中的缺陷之类的还是比较难以确定的,但对电学性质又有较大影响

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7楼2016-05-10 23:06:35
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

所以我问你是不是单晶啊?如果是非晶,微晶,电阻率绝大部分是晶界对载流子的散射,电阻率结果有什么意义吗?既不能反映杂质含量,也无法说明有序程度

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是金子总会发光!!!
8楼2016-05-11 07:46:15
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crysdream

银虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2016-05-11 07:46:15
所以我问你是不是单晶啊?如果是非晶,微晶,电阻率绝大部分是晶界对载流子的散射,电阻率结果有什么意义吗?既不能反映杂质含量,也无法说明有序程度

单晶的

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9楼2016-05-11 17:50:37
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巴蒂315

木虫 (职业作家)

男子汉,拿得起,放得下,真性情,大丈夫!
10楼2016-05-11 17:54:44
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