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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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lywell

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[求助] 如何提高在InP表面蒸镀Ti/Pt/AU 电极的粘附性 已有1人参与

各位大师

  想请教下 我在InP 面蒸镀Ti/Pt/AU 电极 如何提高电极在其上面的粘附性, 尤其是在退火工艺方面如何提高 非常感谢
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一切为了文献
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fjzklq

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

InP 面蒸镀Ti/Pt/AU 电极 如何提高电极在其上面的粘附性-----------不同的设备工艺条件不一样,一般都是表面需要清洁干净,与INP表面直接接触的那一层,可以安排DOE实验,包括真空度、厚度、温度、蒸镀速度、材料厂家影响也不容忽视。
不念过往,着眼未来
2楼2017-08-24 09:15:26
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