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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 如何提高在InP表面蒸镀Ti/Pt/AU 电极的粘附性
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lywell

捐助贵宾 (小有名气)

[求助] 如何提高在InP表面蒸镀Ti/Pt/AU 电极的粘附性 已有1人参与

各位大师

  想请教下 我在InP 面蒸镀Ti/Pt/AU 电极 如何提高电极在其上面的粘附性， 尤其是在退火工艺方面如何提高 非常感谢
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一切为了文献
1楼 2016-04-28 19:40:29
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fjzklq

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

InP 面蒸镀Ti/Pt/AU 电极 如何提高电极在其上面的粘附性-----------不同的设备工艺条件不一样，一般都是表面需要清洁干净，与INP表面直接接触的那一层，可以安排DOE实验，包括真空度、厚度、温度、蒸镀速度、材料厂家影响也不容忽视。
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不念过往，着眼未来
2楼2017-08-24 09:15:26
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