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remifa新虫 (小有名气)
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钽和钼，哪个金属抗氧化性强？ 已有1人参与
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金属钽在低真空下从多少度开始剧烈氧化？钼呢？ 请教真空热处理炉使用金属Ta作为发热体和隔热屏，炉冷过程中，在什么温度下可以关闭扩散泵（炉内真空度会大幅降低），仅使用机械泵抽真空？ 500℃可以吗？ 因为炉子已经使用半个多世纪了，原设计说明都丢失了，我们的钼发热体的真空热处理炉可以在停止加热后，1000℃以上的高温直接关闭扩散泵，而不会造成炉体内发热元器件的氧化。不知道金属Ta是否也可以这么做？（工件允许的情况下） 发自小木虫Android客户端 |
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 金属材料科学与工程 |
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zbhwel
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【答案】应助回帖
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呵呵，你问的问题还不少啊！ 1.Ta发热体真空热处理炉要求的至少5*10-2真空度是在高温下还是在开始加热前就必须达到呢？由于特定样品的缘故，粘结剂挥发导致，炉子在500℃左右真空度会大幅降低，这个影响大吗？ 在开始加热前，我们的钽加热器炉一般真空度都很高，轻松到10的-3Pa,加热时会放气，真空度会下降，但一般会保持到2×10-2左右； 对于特定样品，比如加有粘接剂的样品，不能直接用这种炉子，必须使用中温真空炉（额定温度约500-800℃）进行预处理才行。 如果直接使用钽加热器炉，会对钽加热器有污染或者真空度长时间一直抽不上去。 您的意思是开炉前炉温要降低到100℃以下才行吗？ 是的，这样对于钽加热器保护比较好；如果觉得降温时间太长，可以在200度时进行充氩气来提高降温速率。 另外还有个问题，可以偶尔，先预热扩散泵，后开炉装样品吗？如果阀门无故障，经常这样做的话对炉子，尤其是扩散泵油液损伤大吗？ 我们的真空炉一般都是先预热扩散泵1-1.5小时，然后才开始装炉、抽真空，真空达到要求后，才开始送电加热；连续出炉、装炉时，根本就不关扩散泵。只有当后面暂时没有生产任务时，才先破真空、出炉、关炉门、抽真空、关扩散泵上面的大阀、关机械泵上面的小阀、关机械泵，扩散泵关闭，但扩散泵连接的机械泵（这个泵一般叫维持泵）仍然需工作1-1.5小时后才关闭。当然阀门不能有问题，如果扩散泵的油氧化了，抽高真空就抽不上去了！ |
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4楼2016-04-24 10:52:54
zbhwel
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【答案】应助回帖
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| 当然是Mo的抗氧化性优于金属钽，一般钽加热器适用于加热温度比Mo还要高的高温高真空热处理炉，所需的真空度比Mo要求高，我们一般要求真空对不低于5×10-2Pa,只有当温度低于200度时才可以关掉扩散泵，而且钽的退火出炉温度一般都在80-100度以下。 |
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2楼2016-04-20 12:39:32
remifa
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谢谢您的解答，还有这问题请教，您说的Ta发热体真空热处理炉要求的至少5*10-2真空度是在高温下还是在开始加热前就必须达到呢？由于特定样品的缘故，粘结剂挥发导致，炉子在500℃左右真空度会大幅降低，这个影响大吗？ 您的意思是开炉前炉温要降低到100℃以下才行吗？ 另外还有个问题，可以偶尔，先预热扩散泵，后开炉装样品吗？如果阀门无故障，经常这样做的话对炉子，尤其是扩散泵油液损伤大吗？ 发自小木虫Android客户端 |
3楼2016-04-20 15:44:38
remifa
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哈，我不太懂设备，所以问题比较多，我们只有一个炉子是Ta的，其他都是Mo发热体，看您的叙述，要求非常严格啊，这样的话，对我们来说效率就很低啊。 我们以前是真空度低于0.1Pa就开始加热了，最后在300摄氏度以下关闭扩散泵的，而且好多年没换扩散泵油液了，现在抽真空很慢。因为刚换了所有的发热体和隔热屏，油液没换，现在要重新制定规程。 我们这个炉子一直以来所有的样品都有粘结剂，不过量很小，可不可以通过缓慢升温，比如0-550用1小时时间，保证真空度始终低于0.1呢？在550℃以后就挥发完了。 话说我们Mo发热体炉子是1000多度直接关扩散泵，靠机械泵和罗茨泵抽真空，您哪儿是不是也这样呢？ 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-04-25 09:38:05
