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SIO2与SIC样片高温退火后粘到一起
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SIC样片1550度退火，1umSIO2做保护，退火时该SIC样片被两片SIC样片上下夹住，但是退火后发现中间需退火的样片与上面覆盖的SIC样片粘到一起。请问是什么原因?怎么将两样片分开且不损坏样片?是不是跟1550度SIO2融化有关? 发自小木虫Android客户端 |
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