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linxerr

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[求助] 求助镀膜后样品变成蜂窝状已有1人参与

求指点请问在PET薄膜上面固化一层微米级别的UV胶，在胶上面用磁控溅射镀了40nm的Al,最后用icp-cvd在Al上面镀Sio2层后，为什么样品表面会变成蜂窝状？

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1楼 2016-04-15 17:02:30

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【答案】应助回帖

有图吗，可以发出来看一下

2楼2016-04-21 09:39:09

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