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求助 镀膜后样品变成蜂窝状 已有1人参与
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| 求指点 请问在PET薄膜上面固化一层微米级别的UV胶，在胶上面用磁控溅射镀了40nm的Al,最后用icp-cvd在Al上面镀Sio2层后，为什么样品表面会变成蜂窝状？ |
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2楼2016-04-21 09:39:09