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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助 镀膜后样品变成蜂窝状
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linxerr

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助 镀膜后样品变成蜂窝状已有1人参与

求指点 请问在PET薄膜上面固化一层微米级别的UV胶，在胶上面用磁控溅射镀了40nm的Al,最后用icp-cvd在Al上面镀Sio2层后，为什么样品表面会变成蜂窝状？
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1楼2016-04-15 17:02:30
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家

【答案】应助回帖

有图吗，可以发出来看一下
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2楼2016-04-21 09:39:09
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