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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 硝酸氧化硅
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ynn123

新虫 (小有名气)

[求助] 硝酸氧化硅 已有1人参与

最近想用硝酸与HF来腐蚀硅片，哪位大神知道硝酸氧化硅生成的氧化层的厚度大概是多少，什么条件？谢谢
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1楼 2016-04-13 16:33:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这个问的有问题。腐蚀的时候不生成氧化硅啊。
你是想问抵挡腐蚀的氧化硅层的厚度吗？？
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2楼2016-04-15 12:45:17
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-04-15 12:45:17
你这个问的有问题。腐蚀的时候不生成氧化硅啊。
你是想问抵挡腐蚀的氧化硅层的厚度吗？？

不好意思，问的可能不清楚，我是想问单纯的硝酸对硅片进行氧化所生成的氧化层的厚度？谢谢！
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3楼2016-04-15 15:44:50
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ynn123 at 2016-04-15 15:44:50
不好意思，问的可能不清楚，我是想问单纯的硝酸对硅片进行氧化所生成的氧化层的厚度？谢谢！...

和原生氧化层类似，几十A的样子
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4楼2016-04-21 14:08:51
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-04-21 14:08:51
和原生氧化层类似，几十A的样子...

谢谢！
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5楼2016-04-21 21:00:03
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