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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » PI做钝化
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1154606018

新虫 (小有名气)

[求助] PI做钝化 已有4人参与

我想用PI做钝化层，下面材料一次是SIC/SIO2/SIN，想在SIN上面做层PI，第一次使用PI，不知如何实现，了解得人可否给介绍一下怎么实现?感谢帮助
还有一问题，查PI资料时在论坛上看到的，说使用polyimide之后BV更稳定，无"walk in walk out"现象，想问walk in walk out  在这里是什么意思啊

@yswyx @wulishi8 @dut_ameng 发自小木虫Android客户端
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1楼 2016-04-12 23:03:05
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PI像光刻胶一样，旋涂完了曝光显影，然后进炉管curling

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2楼2016-04-13 00:19:39
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1154606018

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2016-04-13 00:19:39
PI像光刻胶一样，旋涂完了曝光显影，然后进炉管curling

可是我听说不同型号的PI光敏性不同，我们实验室现在有115A型号的，非光敏特性就跟光刻胶不一样了吧

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3楼2016-04-13 08:48:29
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-04-13 08:48:29
可是我听说不同型号的PI光敏性不同，我们实验室现在有115A型号的，非光敏特性就跟光刻胶不一样了吧
...

你好，你需要做PI，我公司可以给你加工。
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4楼2016-04-13 09:14:47
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PI是种介电材料，分为常规性和光敏型
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5楼2016-04-14 08:37:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PI的工艺比光刻胶要稍微复杂一点儿。光敏PI和光刻胶的流程差不多，但是有特殊的地方。
如果想讨论的话，需要充分讨论你的应用，不能简单的讨论用PI，要讨论你的工艺目的。你可以发我短信，我们留邮箱联系。
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6楼2016-04-15 12:51:15
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