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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 镍薄膜怎么刻蚀掉
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499199619

新虫 (初入文坛)

[求助] 镍薄膜怎么刻蚀掉 已有2人参与

镍薄膜光刻后 怎么把多余的腐蚀掉  查的可以用盐酸和双氧水来腐蚀  但有没有知道配比是多少啊
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1楼 2016-04-12 21:41:52
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
引用回帖:
3楼: Originally posted by 499199619 at 2016-04-13 09:08:10
还有其他方法没 我们是做电路的 这方便涉及太少  刚才查了下三氯化铁不好买啊...

你好，你的Ni薄膜多厚。干法刻蚀可以刻蚀的。你做的片子尺寸多大，有需要我公司可以给你加工。
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4楼2016-04-13 09:12:52
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)
三氯化铁溶液可以，0.5  , 1M都可以

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慎独
2楼2016-04-13 00:01:16
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499199619

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-04-13 00:01:16
三氯化铁溶液可以，0.5  , 1M都可以

还有其他方法没 我们是做电路的 这方便涉及太少  刚才查了下三氯化铁不好买啊
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3楼2016-04-13 09:08:10
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 499199619 at 2016-04-13 09:08:10
还有其他方法没 我们是做电路的 这方便涉及太少  刚才查了下三氯化铁不好买啊...

三氯化铁咋就不好买呢？学校国药就会有啊，很便宜的啊，自己配制

发自小木虫Android客户端
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慎独
5楼2016-04-13 11:22:21
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