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[交流] 求教: xrd 问题

这是在不同的氮气压强下制备的 AlTiSiN/AlCrSiN 复合涂层的 xrd 图谱。为什么在 (200)晶面 xrd 峰面展宽,但 在 (111)
晶面和 (220)晶面变化不明显?是只有 (200)面晶粒变小了吗?这说明晶体结构不均匀吗?

求教: xrd 问题


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