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新虫 (著名写手)

[求助] 溅射功率对薄膜沉积速率的影响

大家好，最近在一篇论文中看到讨论溅射功率对薄膜沉积速率的影响时用到一个公式：R = C•η•J ，其中C为与溅射装置有关的常数，η是溅射产额，J 是电流密度。但是文中是直接使用，没有给出参考文献，请问这个公式的外文出处大家知道吗？请熟悉的这一块的老师或同学给我指点一下，谢谢！

1楼 2016-04-11 10:03:21

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金虫 (小有名气)

我是实测的

交流一下

2楼2016-04-12 20:46:40

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新虫 (著名写手)

引用回帖:

2楼: Originally posted by qlihustmsti at 2016-04-12 20:46:40
我是实测的

嗯，我也测过，在论文里需要讨论，所以想知道公式来源

3楼2016-04-14 20:06:32

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