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zhameng07

铜虫 (初入文坛)

[交流] ITO变绝缘

理论上,ITO导电有三个机理:氧空位导电;In被Sn取代产生的杂质原子导电;间隙原子In导电。
我想对ITO做某种处理,如离子注入(氧气或氯气等),让其变成如氧化铝一样的绝缘体,不知各位虫友是否有经验或者相关的理论?求教了,谢谢。
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