版块导航: 正在加载中...

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

返回列表

FLYFWY

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 3611.8
红花: 1
帖子: 160
在线: 113小时
虫号: 747879
注册: 2009-04-13
专业: 光学信息获取与处理

[求助] Al靶问题已有1人参与

磁控溅射Al靶用完成这样了。镀的过程局部辉光很亮。
想确认一下是不是以下两个原因造成：
1.功率过大（6A），导致打火
2.磁场不均匀，导致局部溅射太厉害

发自小木虫IOS客户端

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

亲密关系已经有13人回复
27秋申博自荐已经有4人回复
郑州大学申博已经有8人回复

1楼 2016-04-08 09:11:03

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 70 (初中生)
金币: 14721.7
散金: 1899
红花: 4
帖子: 1652
在线: 1292.8小时
虫号: 645650
注册: 2008-11-04
专业: 物理电子学

凹槽不均匀就是磁场不均匀引起的。功率大不大不能单独的说，和靶材面积有关，所以应该看功率密度，这也反应到镀率，我觉得如果镀率在15a/s以下应该都没有问题的。另外靶材的散热好不好，这可以通过靶材冷却水的回水温度大概判定，如果回水温度明显比进水温度高，就表明散热还好。散热不好得话会引起靶材变形

发自小木虫Android客户端

赞一下

回复此楼

2楼2016-04-08 09:22:55

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 3611.8
红花: 1
帖子: 160
在线: 113小时
虫号: 747879
注册: 2009-04-13
专业: 光学信息获取与处理

引用回帖:

2楼: Originally posted by vincentwz at 2016-04-08 09:22:55
凹槽不均匀就是磁场不均匀引起的。功率大不大不能单独的说，和靶材面积有关，所以应该看功率密度，这也反应到镀率，我觉得如果镀率在15a/s以下应该都没有问题的。另外靶材的散热好不好，这可以通过靶材冷却水的回水 ...

功率密度大概3W/cm2；
散热估计有点问题，因为靶头封水的Cu板有点鼓，导致Al靶材跟着
鼓。换过Cu板，但因为很薄，用不了几次就鼓起来了，厚了又会影响磁场，不知您用的设备是怎么解决这个问题的？（我们的靶尺寸500*180mm)

谢谢！

赞一下(2人)

回复此楼

3楼2016-04-11 11:16:45

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 70 (初中生)
金币: 14721.7
散金: 1899
红花: 4
帖子: 1652
在线: 1292.8小时
虫号: 645650
注册: 2008-11-04
专业: 物理电子学

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
FLYFWY: 金币+40, ★★★★★最佳答案 2016-04-13 16:12:48

引用回帖:

3楼: Originally posted by FLYFWY at 2016-04-11 11:16:45
功率密度大概3W/cm2；
散热估计有点问题，因为靶头封水的Cu板有点鼓，导致Al靶材跟着
鼓。换过Cu板，但因为很薄，用不了几次就鼓起来了，厚了又会影响磁场，不知您用的设备是怎么解决这个问题的？（我们的靶尺寸 ...

功率密度还好。你这个散热的问题很大，散热不好导致靶材局部受热变形，同时也造成磁钢的磁性不均匀，磁场又反过来影响靶材的均匀性。

所以首先换掉铜板，保证铜板和靶材背面平整，然后涂一些真空用的导热硅脂在靶材背面，保证靶材和铜板之间的良好接触和热传导，我估计这能解决很大问题

另外好奇，这么大的溅射靶材，你这是用在哪方面的？

赞一下(1人)

回复此楼

4楼2016-04-11 11:42:36

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖