| 查看: 1051 | 回复: 5 | |||
FLYFWY木虫 (小有名气)
|
[求助]
Al靶问题 已有1人参与
|
|
磁控溅射Al靶用完成这样了。镀的过程局部辉光很亮。 想确认一下是不是以下两个原因造成： 1.功率过大（6A），导致打火 2.磁场不均匀，导致局部溅射太厉害   发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
假如你的研究生提出不合理要求
已经有10人回复
-
萌生出自己或许不适合搞科研的想法，现在跑or等等看？
已经有4人回复
-
Materials Today Chemistry审稿周期
已经有4人回复
-
参与限项
已经有3人回复
-
实验室接单子
已经有4人回复
-
全日制（定向）博士
已经有4人回复
-
对氯苯硼酸纯化
已经有3人回复
-
求助:我三月中下旬出站，青基依托单位怎么办？
已经有12人回复
-
所感
已经有4人回复
-
要不要辞职读博？
已经有7人回复
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14720.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
|
凹槽不均匀就是磁场不均匀引起的。功率大不大不能单独的说，和靶材面积有关，所以应该看功率密度，这也反应到镀率，我觉得如果镀率在15a/s以下应该都没有问题的。另外靶材的散热好不好，这可以通过靶材冷却水的回水温度大概判定，如果回水温度明显比进水温度高，就表明散热还好。散热不好得话会引起靶材变形 发自小木虫Android客户端 |
2楼2016-04-08 09:22:55
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
3楼2016-04-11 11:16:45
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14720.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
FLYFWY: 金币+40, ★★★★★最佳答案 2016-04-13 16:12:48
FLYFWY: 金币+40, ★★★★★最佳答案 2016-04-13 16:12:48
|
功率密度还好。你这个散热的问题很大，散热不好导致靶材局部受热变形，同时也造成磁钢的磁性不均匀，磁场又反过来影响靶材的均匀性。 所以首先换掉铜板，保证铜板和靶材背面平整，然后涂一些真空用的导热硅脂在靶材背面，保证靶材和铜板之间的良好接触和热传导，我估计这能解决很大问题 另外好奇，这么大的溅射靶材，你这是用在哪方面的？ |
4楼2016-04-11 11:42:36
5楼2016-04-11 12:02:54
6楼2017-03-23 23:54:41