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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] Al靶问题 已有1人参与

磁控溅射Al靶用完成这样了。镀的过程局部辉光很亮。
想确认一下是不是以下两个原因造成：
1.功率过大（6A），导致打火
2.磁场不均匀，导致局部溅射太厉害

Al靶问题


Al靶问题-1


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1楼 2016-04-08 09:11:03
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
凹槽不均匀就是磁场不均匀引起的。功率大不大不能单独的说，和靶材面积有关，所以应该看功率密度，这也反应到镀率，我觉得如果镀率在15a/s以下应该都没有问题的。另外靶材的散热好不好，这可以通过靶材冷却水的回水温度大概判定，如果回水温度明显比进水温度高，就表明散热还好。散热不好得话会引起靶材变形

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2楼2016-04-08 09:22:55
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2016-04-08 09:22:55
凹槽不均匀就是磁场不均匀引起的。功率大不大不能单独的说，和靶材面积有关，所以应该看功率密度，这也反应到镀率，我觉得如果镀率在15a/s以下应该都没有问题的。另外靶材的散热好不好，这可以通过靶材冷却水的回水 ...

功率密度大概3W/cm2；
散热估计有点问题，因为靶头封水的Cu板有点鼓，导致Al靶材跟着
鼓。换过Cu板，但因为很薄，用不了几次就鼓起来了，厚了又会影响磁场，不知您用的设备是怎么解决这个问题的？（我们的靶尺寸500*180mm)

谢谢！
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3楼2016-04-11 11:16:45
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
FLYFWY: 金币+40, ★★★★★最佳答案 2016-04-13 16:12:48
引用回帖:
3楼: Originally posted by FLYFWY at 2016-04-11 11:16:45
功率密度大概3W/cm2；
散热估计有点问题，因为靶头封水的Cu板有点鼓，导致Al靶材跟着
鼓。换过Cu板，但因为很薄，用不了几次就鼓起来了，厚了又会影响磁场，不知您用的设备是怎么解决这个问题的？（我们的靶尺寸 ...

功率密度还好。你这个散热的问题很大，散热不好导致靶材局部受热变形，同时也造成磁钢的磁性不均匀，磁场又反过来影响靶材的均匀性。

所以首先换掉铜板，保证铜板和靶材背面平整，然后涂一些真空用的导热硅脂在靶材背面，保证靶材和铜板之间的良好接触和热传导，我估计这能解决很大问题

另外好奇，这么大的溅射靶材，你这是用在哪方面的？
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4楼2016-04-11 11:42:36
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匿名

用户注销 (初入文坛)
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5楼2016-04-11 12:02:54
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xujinwen123

新虫 (初入文坛)
楼主，光伏？

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生活就是生活！！！
6楼2017-03-23 23:54:41
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