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lingxiao00

铜虫 (初入文坛)

[交流] CVD法石墨烯被氢气刻蚀边缘还是中心?

如图,两篇文献中的氢气流量都是700sccm。图1中好像是从中心刻蚀。图2是从边缘刻蚀。求解释。
CVD法石墨烯被氢气刻蚀边缘还是中心?
CVD法石墨烯被氢气刻蚀边缘还是中心?-1
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