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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 制备BiFeO3陶瓷薄膜
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我拒绝月亮

新虫 (初入文坛)

[求助] 制备BiFeO3陶瓷薄膜 已有1人参与

本人现在正在做块体的BFO固溶体陶瓷，最近对BFO的陶瓷薄膜很感兴趣。请问镀BFO薄膜用哪种方法最好呢？磁控溅射可以么？谢谢大家。

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1楼 2016-04-02 01:09:22
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我拒绝月亮

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 杨建军205 at 2016-04-13 20:36:15
可以试试射频磁控溅射，因为靶材是绝缘体，所以必须用射频磁控溅射。

非常感谢

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5楼2016-06-26 09:24:09
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耀切克闹

金虫 (初入文坛)
我知道的有激光脉冲

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2楼2016-04-02 01:23:44
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我拒绝月亮

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 耀切克闹 at 2016-04-02 01:23:44
我知道的有激光脉冲

嗯，文献里很多都用的PLD，不知磁控溅射可否。

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3楼2016-04-02 01:28:04
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杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以试试射频磁控溅射，因为靶材是绝缘体，所以必须用射频磁控溅射。
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4楼2016-04-13 20:36:15
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