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金属薄膜热敏电阻器件的热处理工艺问题
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热蒸发镀金属Ni膜之后，需要进行热处理有效地消除缺陷，改善薄膜的内部组织，提高其性能。 通过查阅文献资料发现大多采用炉管热处理，一般进行高温几个小时的处理。目前我们这边没有这种炉管设备，只有RTP快速退火炉，一般处理时间是几秒到几分钟。 1、请问可以用RTP快速退火炉进行热处理100nm的Ni膜吗？ 2、工艺条件如何（温度，时间。。。）？ 3、RTP快速退火炉是不是没有炉管设备处理得效果好啊？ |
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