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离子注入深度模拟计算
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样品离子注入采用C5+-270kV-1.35MeV束流，束斑大小1.6cm×1.7cm，束斑均匀。调整均匀束斑后，在靶流强只有0.5euA，剂量3.0×1016粒子/cm2，辐照用时36h。 基底为金刚石紫晶，求大神用TRIM 软件来模拟一下注入深度 。谢谢 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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