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微电子机械系统材料与处理技术手册-MEMS Materials and Processes Handbook
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微电子机械系统材料与处理技术手册 MEMS Materials and Processes Handbook  出版社: Springer; 2011 (2012年5月24日) 丛书名: MEMS Reference Shelf 精装: 1188页 语种： 英语 ISBN: 0387473165 条形码: 9780387473161 MEMS Materials and Processes Handbook" is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on "Materials" and "Processes". The extensive Material Selection Guide" and a "Material Database" guides the reader through the selection of appropriate materials for the required task at hand. The "Processes" section of the book is organized as a catalog of various microfabrication processes, each with a brief introduction to the technology, as well as examples of common uses in MEMS. |
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