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yangzhao1990

新虫 (初入文坛)

[求助] MoS2转移相关问题

我最近一直在做MoS2转移的工作，但是旋涂完PMMA，烘焙以后，用刀片划硅片边角放在KOH溶液中去刻蚀，还是只是冒气泡，过两天也脱落不了，我用干净的硅片试过，干净的硅片很快就下来了。影响pmma脱落下来主要原因是什么呢？急需大家的帮助。
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1楼 2016-03-29 19:11:32
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yangzhao1990

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sinapdb at 2016-03-29 20:30:21
问题描述不够清楚。把你要比较的两个过程体系说清楚吧。

我就是想说按照很多文献上的pmma转移MoS2的方法，我现在在KOH刻蚀这块出了问题，pmma总是脱落不了，方法步骤和文献一样，不知道出了什么问题啊
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3楼2016-03-30 11:30:12
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sinapdb

荣誉版主 (职业作家)

蚂蚁爬爬
问题描述不够清楚。把你要比较的两个过程体系说清楚吧。
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2楼2016-03-29 20:30:21
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双刀桑尼

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yangzhao1990 at 2016-03-30 11:30:12
我就是想说按照很多文献上的pmma转移MoS2的方法，我现在在KOH刻蚀这块出了问题，pmma总是脱落不了，方法步骤和文献一样，不知道出了什么问题啊...

应该是样品表面比较脏吧，或者说是PMMA膜太薄，脱落了也看不到。
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4楼2016-08-04 08:58:24
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陈宋郊

新虫 (小有名气)
你的PMMA是自己买材料配的容易？

发自小木虫Android客户端
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5楼2016-09-26 20:08:01
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