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vicwangji

至尊木虫 (职业作家)

[交流] 离子束切割FIB式样厚度 已有7人参与

用过fib方法切割透射电镜式样的各位大虾,想问一下用FIB方法制SIC的透射电镜样时,最适合什么厚度利于看高分辨像?

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vicwangji

至尊木虫 (职业作家)

引用回帖:
6楼: Originally posted by cxcxhust at 2016-03-31 08:30:03
100nm吧,刚刚做过

你100纳米做的也是SiC材料吗?
9楼2016-04-01 08:17:34
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vicwangji

至尊木虫 (职业作家)

500纳米能否看到高分辨像

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2楼2016-03-28 22:24:31
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QQ723299612

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by vicwangji at 2016-03-28 22:24:31
500纳米能否看到高分辨像

透射试样用FIB切割时尽量使试样切的足够薄,这样在离子减薄仪上减薄时较快,也不宜太薄,因为太薄的话,样品用离子减薄仪制样时容易碎,最好15微米到20微米的厚度,高分辨一般放大到80万倍

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3楼2016-03-29 08:24:03
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
應該 FIB可以調整切割速度,配合深度要求吧?
記得絕緣膜太厚,容易有電荷累積的問題,大概就這樣。
4楼2016-03-29 21:17:45
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