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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 离子束切割FIB式样厚度
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vicwangji

至尊木虫 (职业作家)

[交流] 离子束切割FIB式样厚度 已有7人参与

用过fib方法切割透射电镜式样的各位大虾，想问一下用FIB方法制SIC的透射电镜样时，最适合什么厚度利于看高分辨像？

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1楼 2016-03-28 22:23:08
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vicwangji

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 598878157 at 2016-03-31 07:25:01
减薄到100nm以下，厚度越薄越好。祝好！

多谢
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8楼2016-04-01 07:59:36
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vicwangji

至尊木虫 (职业作家)
500纳米能否看到高分辨像

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2楼2016-03-28 22:24:31
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QQ723299612

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by vicwangji at 2016-03-28 22:24:31
500纳米能否看到高分辨像

透射试样用FIB切割时尽量使试样切的足够薄，这样在离子减薄仪上减薄时较快，也不宜太薄，因为太薄的话，样品用离子减薄仪制样时容易碎，最好15微米到20微米的厚度，高分辨一般放大到80万倍

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3楼2016-03-29 08:24:03
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
應該 FIB可以調整切割速度，配合深度要求吧？
記得絕緣膜太厚，容易有電荷累積的問題，大概就這樣。
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4楼2016-03-29 21:17:45
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