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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄膜表面微孔阵列加工的问题
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

激光或者超声
或者硬掩膜然后反应离子刻 这个需要掩膜版光刻  不过工艺简单 尺寸可根据要求设计
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11楼2016-04-01 16:00:12
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战地土拨鼠

银虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by xmji at 2016-04-01 16:00:12
激光或者超声
或者硬掩膜然后反应离子刻 这个需要掩膜版光刻  不过工艺简单 尺寸可根据要求设计

对这个工艺不懂 主要是孔径在微米级并且要对穿厚度在几百微米的膜 感觉比较困难，请问 哪里可以做这个？
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最美好的不是下雨天，是一起和你躲过雨的屋檐
12楼2016-04-01 16:38:43
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anthony1989

新虫 (小有名气)
电化学超声复合加工

发自小木虫Android客户端
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13楼2016-04-01 18:20:51
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laserfocus

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

激光非常合适，对于1μm以上的孔，速度快，PI膜、PE等等均有应用。联系上海费米激光科技有限公司，15601692570@163.com
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14楼2016-08-05 17:15:24
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落疏桐

金虫 (正式写手)
直接用激光打标机就可以了

发自小木虫Android客户端
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苏州纳米所，新的起点。加油！
15楼2016-08-09 18:27:33
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三千焱炎火

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

皮秒激光    聚酰亚胺   可以做的  实现10um以内的孔
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16楼2016-08-18 10:55:43
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匿名
本帖仅楼主可见
17楼2016-09-05 00:37:12
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