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xmji

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

激光或者超声
或者硬掩膜然后反应离子刻 这个需要掩膜版光刻  不过工艺简单 尺寸可根据要求设计
11楼2016-04-01 16:00:12
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战地土拨鼠

银虫 (正式写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by xmji at 2016-04-01 16:00:12
激光或者超声
或者硬掩膜然后反应离子刻 这个需要掩膜版光刻  不过工艺简单 尺寸可根据要求设计

对这个工艺不懂 主要是孔径在微米级并且要对穿厚度在几百微米的膜 感觉比较困难,请问 哪里可以做这个?
最美好的不是下雨天,是一起和你躲过雨的屋檐
12楼2016-04-01 16:38:43
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anthony1989

新虫 (小有名气)

13楼2016-04-01 18:20:51
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laserfocus

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

激光非常合适,对于1μm以上的孔,速度快,PI膜、PE等等均有应用。联系上海费米激光科技有限公司,15601692570@163.com
14楼2016-08-05 17:15:24
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落疏桐

金虫 (正式写手)

直接用激光打标机就可以了

发自小木虫Android客户端
苏州纳米所,新的起点。加油!
15楼2016-08-09 18:27:33
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三千焱炎火

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

皮秒激光    聚酰亚胺   可以做的  实现10um以内的孔
16楼2016-08-18 10:55:43
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本帖仅楼主可见
17楼2016-09-05 00:37:12
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