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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄膜表面微孔阵列加工的问题
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战地土拨鼠

银虫 (正式写手)

[求助] 薄膜表面微孔阵列加工的问题已有5人参与

实验需要 在厚度为60μm左右的高分子膜上产生直径微米级，高度可穿透膜的孔洞阵列（孔个数≥100），请教各位可以使用哪些技术实现 先谢过！
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最美好的不是下雨天，是一起和你躲过雨的屋檐
1楼2016-03-28 10:17:12
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

激光或者超声
或者硬掩膜然后反应离子刻 这个需要掩膜版光刻  不过工艺简单 尺寸可根据要求设计
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11楼2016-04-01 16:00:12
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
已经站内联系，祝好！
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2楼2016-03-28 10:37:24
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sinapdb

荣誉版主 (职业作家)

蚂蚁爬爬

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以用氧化铝做模板实现。
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7楼2016-03-29 20:31:12
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战地土拨鼠

银虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by sinapdb at 2016-03-29 20:31:12
可以用氧化铝做模板实现。

感谢回复 请问氧化铝模板的孔径可以到微米级吗
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最美好的不是下雨天，是一起和你躲过雨的屋檐
8楼2016-03-29 21:50:00
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