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薛定谔的角度铜虫 (初入文坛)
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[交流]
[SilvacoTCAD求助][求通过Athena仿真而得的器件结构文件str]
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本人毕设需要用到沟道长度为90nm、45nm的标准MOSFET器件结构文件，用于atlas器件特性仿真。由于时间关系，没办法从Athena中仔细的仿真出来。 而简单通过atlas编辑器件又怕不够标准，会影响某些特性。自己通过silaco的devedit器件编辑器简单编辑了个器件，总觉得也是不够标准。 器件参数：衬底掺杂浓度（P型衬底）：5e17。源漏、多晶硅栅掺杂浓度随意。。 沟道长度：90nm或45nm； 栅极氧化层厚度：1~1.4nm; 这些是关键参数。跪求silvaco tcad大神！ |
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