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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 铝膜的阳极氧化
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pengrong29

新虫 (小有名气)

[求助] 铝膜的阳极氧化 已有6人参与

我是在铜基板（铜箔与铜板）上用磁控溅射镀铝，再在镀铝层上做阳极氧化的，现在我遇到的困难是怎么样看到生成阳极氧化铝膜的断面图，也就是阳极氧化铝膜的膜厚一直测量不到，希望有大神能够指教一下，万分感谢，等这个毕业的。
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1楼 2016-03-22 10:13:40
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

用 Mark pen塗在銅板上。
鍍膜、氧化後再用酒精擦拭，薄膜會剝落形成斷面。

FIB 還是最好的辦法，機械方法會造成擠壓變形，不建議！

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13楼2016-03-27 08:15:31
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542219278

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是可以故意损坏，致使AAO断裂，然后再用SEM进行测试
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2楼2016-03-22 11:01:47
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pengrong29

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 542219278 at 2016-03-22 11:01:47
是不是可以故意损坏，致使AAO断裂，然后再用SEM进行测试

可以的，但是不知道用什么办法断裂膜层比较好，剪刀剪一定是不可以的了，你有什么好的方法吗
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3楼2016-03-22 15:00:51
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pengrong29

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 542219278 at 2016-03-22 11:01:47
是不是可以故意损坏，致使AAO断裂，然后再用SEM进行测试

我也是用SEM看的横断面，没看出来，就是膜层如何破裂才不会损坏膜厚的实际厚度
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4楼2016-03-22 15:03:26
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