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Si片表面旋涂150nm厚的SU-8，旋涂PMMA再烘干，肉眼可以看见表面很多开裂的线
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| SU-8，前烘95一分钟，紫外彻底曝光（只是用来作为介质层），后烘95一分钟，固化150度5分钟。冷却到室温，旋涂PMMA，180度烘干2分钟。表面出现开裂的线，是怎么回事呢？ |
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