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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】：用Mg靶通入Ar+O2能否溅射出MgO薄膜？
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zhangletao1986

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】：用Mg靶通入Ar+O2能否溅射出MgO薄膜？

RT，主要是担心Mg靶会在溅射条件下加氧气燃烧。

[ Last edited by jackchen145 on 2008-10-18 at 22:51 ]
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1楼 2008-10-18 10:12:10
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liubo_02

金虫 (正式写手)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
燃烧不太可能出现吧，条件适合应该能做出来你要的，不过要注意溅射的功率，避免把靶材料熔化
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3楼2008-10-20 09:20:06
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mnfe

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
jackchen145(金币+2,VIP+0):谢谢应助，欢迎常来纳米版！
zhangletao1986(金币+2,VIP+0):Thank you!
这种情况应该不会出现吧！
反应磁控溅射制备半导体金属氧化物薄膜都是用的金属靶。
溅射膜时都在中 高真空下，氧分压很低很低，所以能把氧化反应控制在很缓慢的节奏，只会微弱氧化，不会燃烧，条件合适，就能制备出氧化物薄膜吧
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2楼2008-10-20 08:44:17
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