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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zhangletao1986

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】:用Mg靶通入Ar+O2能否溅射出MgO薄膜?

RT,主要是担心Mg靶会在溅射条件下加氧气燃烧。

[ Last edited by jackchen145 on 2008-10-18 at 22:51 ]
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liubo_02

金虫 (正式写手)


大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
燃烧不太可能出现吧,条件适合应该能做出来你要的,不过要注意溅射的功率,避免把靶材料熔化
3楼2008-10-20 09:20:06
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mnfe

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
jackchen145(金币+2,VIP+0):谢谢应助,欢迎常来纳米版!
zhangletao1986(金币+2,VIP+0):Thank you!
这种情况应该不会出现吧!
反应磁控溅射制备半导体金属氧化物薄膜都是用的金属靶。
溅射膜时都在中 高真空下,氧分压很低很低,所以能把氧化反应控制在很缓慢的节奏,只会微弱氧化,不会燃烧,条件合适,就能制备出氧化物薄膜吧
2楼2008-10-20 08:44:17
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