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新虫 (小有名气)

[求助] 溅射钯材破了一个洞,求高手分析原因

钯材是CaMnO3,溅射功率用了300W, 一开始正常,大概三五分钟出现异常,结果发现钯材上破了一个孔,像是什么东西从里边喷出来了。是不是因为功率太大的原因导致里边的In破洞而出?求教各位高手。试过250W没有问题。非常感谢~
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Friend007

银虫 (知名作家)


功率大小与靶材面积有关 破洞有可能时间长了 穿了 或者靶材本身质量有问题 无论什么原因 靶材不能用了 要换新的

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2楼2016-03-19 07:37:20
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】

这种一般是靶材制作的质量有问题

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宁可心在江湖言江湖,不可身在江湖怨江湖!
3楼2016-03-19 07:51:33
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