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溅射钯材破了一个洞，求高手分析原因
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| 钯材是CaMnO3，溅射功率用了300W, 一开始正常，大概三五分钟出现异常，结果发现钯材上破了一个孔，像是什么东西从里边喷出来了。是不是因为功率太大的导致In破洞而出呢？求教各位高手。试过250W没有问题。非常感谢~ |
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