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AZO靶材，铝含量随溅射功率升高而降低
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| AZO靶材磁控溅射法制膜，研究不同功率下薄膜的结构性能，EDS分析薄膜中铝含量随着功率的升高而降低，这个结果有理论依据吗？如果有的话怎么解释这一现象呢？ |
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