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【请教】如何克服多层旋转涂膜问题？
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最近在用溶胶旋转涂膜，第一层可以涂的很好，但第二层比较难涂上去,涂上去要么出现花斑或不均匀，看了相关文献，没有提供比较好的解决办法。那位同学遇到过类似情况，该如何解决了？ [ Last edited by dlwang on 2008-10-16 at 21:14 ] |
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