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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 电子束蒸镀金
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guo902024

金虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸镀金 已有1人参与

探讨下  电子束蒸镀金常用的坩埚类型?
Mo  or   W?
如果金的量很少了,电子束打在坩埚上的话,是不是会污染金属?

最近工艺上遇到类似的问题了,求助下,又做过类似工艺的可以讨论下
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1楼 2016-03-12 16:55:53
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lijunjie84

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
guo902024: 金币+4 2016-03-13 08:58:45
没记错，我在日本用的好像是铜或者铜合金坩埚，但是那是带水冷的，蒸锅Au和P他，木有污染，就是 蒸贵金属就是有点废料
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2楼2016-03-12 22:50:24
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guo902024

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lijunjie84 at 2016-03-12 22:50:24
没记错，我在日本用的好像是铜或者铜合金坩埚，但是那是带水冷的，蒸锅Au和P他，木有污染，就是 蒸贵金属就是有点废料

如果金属蒸镀得过多,都见到坩埚底了,那样是不是会把坩埚也给打了,进而污染整个坩埚的金属,这种情况在工艺上是不允许出现的,所以只能问问有没有遇到此情况的
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3楼2016-03-13 09:00:28
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lijunjie84

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【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by guo902024 at 2016-03-13 09:00:28
如果金属蒸镀得过多,都见到坩埚底了,那样是不是会把坩埚也给打了,进而污染整个坩埚的金属,这种情况在工艺上是不允许出现的,所以只能问问有没有遇到此情况的...

那么少的料，本来就是不允许的
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4楼2016-03-14 18:25:10
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