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zhangwenjin6

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 热蒸发镀金,表面一片一片的 已有11人参与

最近做蒸发镀金,步骤和问题如下:
显影后镀金,先Cr(2-3nm)后Au(50nm),表面一片一片的,可以看到有的部分有金。有的部分,仍是黑蓝色(sio2基底)。就像下雨后打在地上的泥点一样。一点一点。。。各位大神谁晓得哪里出现了问题啊,经常所有样品报废,有的时候偶尔一个是稍微正常一点,如图。刚接触,望大神赐教。。
金的质量没有问题,以前别人也用,我也用过,正常。

热蒸发镀金,表面一片一片的
image1.JPG
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zhangwenjin6

铁杆木虫 (著名写手)

2楼2016-03-11 15:38:46
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zhangwenjin6

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zjlenny at 2016-03-11 23:25:12
可能是显影没干净吧

样品显影济都是氮气吹干的,有时候显影后好几天才镀金,也是同样的情况。

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4楼2016-03-12 05:17:20
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zhangwenjin6

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by vincentwz at 2016-03-12 08:17:26
镀金时有冷却吗?是不是温度太高

是镀的时候冷却样品吗,没有冷却啊。样品直接放进去抽真空,分别加热铬和金蒸镀,等几个小时后取出来。

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7楼2016-03-12 09:49:30
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zhangwenjin6

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by jonser at 2016-03-12 09:01:20
监控片会不会?感觉像温度高,表面糊了

啊,什么是监控片啊?不会阿,请问大神如何操作

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8楼2016-03-12 09:50:29
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zhangwenjin6

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
11楼: Originally posted by jedi-j at 2016-03-12 11:26:12
幾個方向:
氧氣 plasma去除有機汙染,調整底層基材陰電性。
蒸鍍時前面升溫階段擋掉,避免低溫成膜。
看你的兩片樣品狀況不一,也許是一個以上的原因造成。
有點複雜,僅供參考。
...

好的,我试试非常感谢

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13楼2016-03-14 12:16:44
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zhangwenjin6

铁杆木虫 (著名写手)

顶起来。。。。。。
14楼2016-03-16 09:04:12
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zhangwenjin6

铁杆木虫 (著名写手)

你指的是啥啊,机器还是材料啊

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18楼2016-09-13 17:03:19
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