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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 【专家一席谈】电镜随谈之三：能谱（EDS）的一些问题
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nanojessie

铜虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

我想问一下，SEM中的能谱，能达到的精度是多少？不是误差分析的精度，而是样品里的元素含量达到多少才能被检测到？我做了Al 的薄膜，经过氧化实验，可是在能谱里显示不出O的峰，是怎么回事呢？
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201楼2013-05-24 17:28:11
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wakeman2011

金虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

谢谢楼主分享，EDS正在学习之中
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202楼2013-05-27 23:30:36
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temedx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
201楼: Originally posted by nanojessie at 2013-05-24 17:28:11
我想问一下，SEM中的能谱，能达到的精度是多少？不是误差分析的精度，而是样品里的元素含量达到多少才能被检测到？我做了Al 的薄膜，经过氧化实验，可是在能谱里显示不出O的峰，是怎么回事呢？

没有具体文献, 据我的经验, 氧是轻原子, 容易被其他信号干扰, 一般建议0.5%甚至1%以上才能准确检测到.
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203楼2013-05-28 07:56:35
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sabrina-syj

新虫 (初入文坛)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

很实用
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204楼2013-06-04 17:04:42
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lmdayu

金虫 (正式写手)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

????
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205楼2013-06-18 17:49:01
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双双lucy

铁虫 (正式写手)

★★★ 三星级,支持鼓励

厉害
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206楼2013-07-01 08:55:37
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DOTAOK

至尊木虫 (著名写手)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

多谢
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207楼2013-07-01 09:43:35
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andyluandy

铁杆木虫 (著名写手)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

好啊啊
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208楼2013-10-08 11:25:51
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ce_fire

新虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

楼主加油，很有收获
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209楼2014-01-10 12:12:00
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dyx4366

木虫 (著名写手)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

恩，讲的很到位，常见的问题都提出了
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210楼2014-01-12 15:01:42
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kershaw

铁虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

谢谢楼主分享
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211楼2014-01-28 09:38:12
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wnwang

金虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

非常好！谢谢分享！
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212楼2014-03-27 04:34:25
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simonzhanmc

金虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

答得太好了
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213楼2014-04-20 22:16:51
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巫师926

铁杆木虫 (正式写手)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

学习了！！！
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216楼2014-08-02 10:28:44
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zymanmanlai

银虫 (小有名气)
引用回帖:
152楼: Originally posted by temedx at 2009-04-22 15:28:01
今天从hand1980大侠那里知道TEM-EDS为什么老是有Si峰了，回去实验一下再来补充我的帖子。

为什么有Si峰啊
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217楼2014-08-20 16:34:25
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temedx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
217楼: Originally posted by zymanmanlai at 2014-08-20 16:34:25
为什么有Si峰啊...

啊，还真的忘记了。TEM里面的Si峰形成原因据说有几种：
1. 碳膜制备时有Si物种污染，但这种说法我问过一些厂家，应该可以排除。
2. EDS探头前面有Si层，这个倒是有可能，但并不是所有地方都能看到比较明显的Si峰，或许跟样品的表面形貌与探头之间的空间取向有关？没有实验数据，不好说。
3. 测试样品中很多时候会用玻璃仪器来存放溶液，玻璃中的Si可能是污染源之一。
仅仅是个人的看法，供您参考。
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218楼2014-08-20 19:33:40
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zymanmanlai

银虫 (小有名气)
引用回帖:
218楼: Originally posted by temedx at 2014-08-20 19:33:40
啊，还真的忘记了。TEM里面的Si峰形成原因据说有几种：
1. 碳膜制备时有Si物种污染，但这种说法我问过一些厂家，应该可以排除。
2. EDS探头前面有Si层，这个倒是有可能，但并不是所有地方都能看到比较明显的Si峰 ...

谢谢您的回复。
我的样品中有时候会出现Si异常高的现象。没有用玻璃仪器存放。所以可能是第2个原因。样品是不规则形状的纳米团，至于它跟探头之间的空间取向我暂时理解不了。
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219楼2014-08-24 13:02:23
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temedx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
219楼: Originally posted by zymanmanlai at 2014-08-24 13:02:23
谢谢您的回复。
我的样品中有时候会出现Si异常高的现象。没有用玻璃仪器存放。所以可能是第2个原因。样品是不规则形状的纳米团，至于它跟探头之间的空间取向我暂时理解不了。...

纳米团应该没有什么取向问题，取向多数是由于比较大的颗粒在空间上的影响。
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220楼2014-08-24 15:10:54
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baoer410

铁杆木虫 (职业作家)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

谢谢楼主无私传授
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223楼2015-01-12 13:29:00
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627580362

新虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

挺好的。
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224楼2015-02-02 21:18:02
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小马哥53

铜虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

吊吊的
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225楼2015-03-18 21:53:43
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weiyixuanze

木虫 (初入文坛)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

最近我也想当然的认为，TEM比SEM对应的EDS更准确。看了楼主的分析，受益了，感谢
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226楼2015-06-14 19:43:40
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SundyWANG

铁虫 (正式写手)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

学习了
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227楼2015-08-06 22:43:27
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qym87

铜虫 (小有名气)

★★★ 三星级,支持鼓励

新手路过，向前辈致敬
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228楼2015-10-12 13:14:49
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华德福小盆友

新虫 (初入文坛)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

学习了
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229楼2017-07-24 15:09:29
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yizhianjing

新虫 (初入文坛)

★★★ 三星级,支持鼓励

请问峰值的高低代表什么？我观察到峰值与原子百分比成正比的，那么是不是意味着峰值的高低代表了元素含量的高低呢？
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230楼2017-11-28 10:32:09
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peiyuanjiao

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by temedx at 2008-10-15 15:00:36
因为很多人知道TEM的分辨率高，所以认为TEM所配能谱的分辨率高于SEM。这可以说是一个非常错误的论断。
同样厂家的能谱，同一时期的产品，用于TEM的分辨率通常要低于SEM几个eV，诚然，TEM可能会观察到更小的细节，但 ...

请问一下什么叫2D EDS啊
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231楼2019-04-30 10:47:12
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wmy子虚乌有

新虫 (小有名气)
那个EDS图中如何计算各个原子的比例，是看峰高还是看峰面积，还有峰面积怎么计算

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232楼2019-05-09 09:06:36
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Tonia0

铜虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

请问at%和wt%有何区别，一般大家描述某种元素较多时，习惯用at%还是wt%呢？
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233楼2019-11-06 17:12:35
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简单回复
张钊123214楼
2014-05-10 18:01   回复  
五星好评  赞
tracy612215楼
2014-05-19 23:16   回复  
五星好评  
cyulee221楼
2014-12-04 16:46   回复  
五星好评  顶
nanoshb222楼
2014-12-19 16:42   回复  
五星好评  
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