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linguochen

新虫 (初入文坛)

[求助] 电子束蒸发铜颗粒 已有1人参与

利用电子束蒸发技术镀铜膜，材料是铜颗粒，纯度五个9，电子束流控制再多少可以？镀膜生长速率怎么计算？急求各路大神指点一二 好谢谢

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1楼 2016-03-09 19:11:49
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2016-03-09 20:43:33
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再见后定诺

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你要清楚，电子束流就是控制镀膜过程的速率，也仅控制这一参数。所以电子束流的大小取决于你希望的蒸发速率。一般0.3-2A/s都行。真空度一定要低于10的-4。
生长速率就好办了，膜厚除以电子枪工作的时间（剔除预熔时间）
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3楼2019-11-27 21:20:06
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