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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束蒸镀对尖锐物品的镀膜效果
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mengbiotech

金虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸镀对尖锐物品的镀膜效果 已有3人参与

大家好，我现在有一个AFM探针需要镀金处理，但是探针是圆锥形的，因此直接蒸镀是不是圆锥的侧面镀膜质量会不好？
毕竟不是像镀平面那么均匀。。。
求指教，如果这样质量不好的话，有什么方法推荐吗？
谢谢！
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热爱生活，热爱生命
1楼 2016-03-08 16:26:56
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haode22

金虫 (正式写手)
可以试试电镀啊

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逐渐成为工作狂，技术狂.............
2楼2016-03-08 18:33:27
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mengbiotech

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by haode22 at 2016-03-08 18:33:27
可以试试电镀啊

谢谢！我的样品基底是氮化硅，规格大概是3*5mm，请问电镀能否合适？能否到达有原子级平整度的镀膜？请不吝赐教！
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热爱生活，热爱生命
3楼2016-03-09 10:09:17
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2016-03-09 10:39:17
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mengbiotech

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 苏州MEMS at 2016-03-09 10:39:17
磁控溅射可以镀上去，但是想要均匀会比较难，才疏学浅，期待更好回答

谢谢！溅射的平整度是不是相对差一点？我刚咨询了国家纳米中心，感觉没什么好办法，可以用底盘可以自转和公转的弥补一下。
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热爱生活，热爱生命
5楼2016-03-09 11:29:58
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haode22

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by mengbiotech at 2016-03-09 10:09:17
谢谢！我的样品基底是氮化硅，规格大概是3*5mm，请问电镀能否合适？能否到达有原子级平整度的镀膜？请不吝赐教！...

你查查相关温文献，但要达到原子级别的平整度，我估计常规办法够呛。

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逐渐成为工作狂，技术狂.............
6楼2016-03-09 13:40:42
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2016-03-09 13:58:26
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somedayxl

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

找地方做ＡＬＤ
如果没有Ａu的，想办法换别的金属
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8楼2016-03-22 23:40:25
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fudimozhifu

铁杆木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

要不要考虑原子层沉积，这个是气相的源，对于镀不规则的表面很有优势
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9楼2016-05-31 09:52:18
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