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mengbiotech

金虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸镀对尖锐物品的镀膜效果 已有3人参与

大家好,我现在有一个AFM探针需要镀金处理,但是探针是圆锥形的,因此直接蒸镀是不是圆锥的侧面镀膜质量会不好?
毕竟不是像镀平面那么均匀。。。
求指教,如果这样质量不好的话,有什么方法推荐吗?
谢谢!
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haode22

金虫 (正式写手)

逐渐成为工作狂,技术狂.............
2楼2016-03-08 18:33:27
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mengbiotech

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by haode22 at 2016-03-08 18:33:27
可以试试电镀啊

谢谢!我的样品基底是氮化硅,规格大概是3*5mm,请问电镀能否合适?能否到达有原子级平整度的镀膜?请不吝赐教!
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3楼2016-03-09 10:09:17
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

4楼2016-03-09 10:39:17
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mengbiotech

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 苏州MEMS at 2016-03-09 10:39:17
磁控溅射可以镀上去,但是想要均匀会比较难,才疏学浅,期待更好回答

谢谢!溅射的平整度是不是相对差一点?我刚咨询了国家纳米中心,感觉没什么好办法,可以用底盘可以自转和公转的弥补一下。
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5楼2016-03-09 11:29:58
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haode22

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by mengbiotech at 2016-03-09 10:09:17
谢谢!我的样品基底是氮化硅,规格大概是3*5mm,请问电镀能否合适?能否到达有原子级平整度的镀膜?请不吝赐教!...

你查查相关温文献,但要达到原子级别的平整度,我估计常规办法够呛。

发自小木虫Android客户端
逐渐成为工作狂,技术狂.............
6楼2016-03-09 13:40:42
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

7楼2016-03-09 13:58:26
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somedayxl

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

找地方做ALD
如果没有Au的,想办法换别的金属
8楼2016-03-22 23:40:25
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fudimozhifu

铁杆木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

要不要考虑原子层沉积,这个是气相的源,对于镀不规则的表面很有优势
9楼2016-05-31 09:52:18
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