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【手动求助】lift-off 第二层胶容易污染 已有1人参与
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小弟最近在做lift-off工艺,大部分流程都搞通了,现在最大问题是第二层胶匀胶后的胶膜上出现杂质概率很高,但是单独把第二层直接滴在基片上,几乎没有被污染的情况。 另外我的基片是铌酸锂晶体,曾经考虑过是第一层烘过以后铌酸锂放电产生某些影响,后来做了一些对比试验,也没有发现什么直接关系。 想请教一下有没有前辈知道这是什么原因,小弟在此先行谢过了。 实在没有金币,还请原谅。 |
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yswyx
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