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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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我爱洋葱头

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射ITO表面有几百纳米的大颗粒，怎么去除？ 已有1人参与

磁控溅射ITO薄膜表面有几百纳米的大颗粒，请问怎么去除？
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幸福的微笑
1楼 2016-03-06 08:12:46
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samuel_lee

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这是靶材的毒化现象而产生的nodule，用组砂纸打磨后再用细砂纸抛光，然后无尘布沾酒精擦拭
赞一下 回复此楼
为了未来而尽力而为
2楼2016-03-22 14:58:05
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