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磁控溅射ITO表面有几百纳米的大颗粒，怎么去除？ 已有1人参与
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| 磁控溅射ITO薄膜表面有几百纳米的大颗粒，请问怎么去除？ |
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samuel_lee
银虫 (初入文坛)
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- 专业: 半导体材料
2楼2016-03-22 14:58:05