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我爱洋葱头

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射ITO表面有几百纳米的大颗粒,怎么去除? 已有1人参与

磁控溅射ITO薄膜表面有几百纳米的大颗粒,请问怎么去除?
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幸福的微笑
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samuel_lee

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这是靶材的毒化现象而产生的nodule,用组砂纸打磨后再用细砂纸抛光,然后无尘布沾酒精擦拭
为了未来而尽力而为
2楼2016-03-22 14:58:05
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