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崖岸自高

新虫 (著名写手)

[求助] PtO/Al multilayered films 加热时的反应过程研究

如题,反应溅射制备一层PtO(或者PtO2)薄膜,然后再溅射一层金属Al薄膜,膜厚500至1000nm,研究PtO/Al薄膜在加热过程中PtO与Al的扩散反应(氩气气氛),是否生成了Al2O3,以及Al2O3的分布和形态等。然而面临的困难是:PtO易于分解,在氩气气氛下400至500摄氏度范围内就会分解为Pt和氧气,因此加热温度不能过高,但低温下即使生成Al2O3,也是非晶态的,如何检测呢?
本人做过实验,XRD得到Pt-Al合金的衍射峰,SEM断面无法准确确定成分分布,TEM试样自己制备不出来,因此这个课题值得做吗?请高人指点一二,不尽感激。
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