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硅片处理方法之氟代烷基类硅烷的作用是什么 已有2人参与
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| 硅片处理方法之氟代烷基类硅烷的作用是什么？看文献说为了防止PDMS与硅片的不可逆结合，要用氟代烷基类硅烷处理硅片，如果这是疏水处理的话，PDMS也是高疏水，处理后岂不是更加难以剥离？ |
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