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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 如何改变真空腔内的真空度？
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jw329

新虫 (正式写手)

[求助] 如何改变真空腔内的真空度？ 已有2人参与

自己做了一个真空腔，用分子泵抽真空，满负荷稳定后能抽到10-5torr。

现在问题是，实验需要不同真空度下的数据。10-4  10-3 10-2 10-1这些真空度该如何达到呢？

看网上有人说用减压阀，但我不确定是否能用在如此高的真空度下调节。

虫友们帮帮忙，谢谢！
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1楼 2016-03-02 17:24:41
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jw329

新虫 (正式写手)
感谢楼上两位，流量计确实给力，不过流量计的量程有限，想要获得更宽的真空度范围可能需要针阀再控制一下抽气的速率。 @wulishi8
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5楼2016-03-04 22:42:37
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jw329: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-03-04 22:41:02
利用微量惰性气体注入速度和流量来控制，这个不难。
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2楼2016-03-02 18:41:04
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jw329: 金币+3, ★★★很有帮助 2016-03-04 22:41:31
在真空室上装一个 手动微调(针阀)，就可以了。
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3楼2016-03-02 19:24:46
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-02 19:24:46
在真空室上装一个 手动微调(针阀)，就可以了。

不好意思 刚才的回答有问题 。除需要针阀外，在分子泵口还需要一个调节管道流导的流导阀。

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4楼2016-03-02 19:56:55
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