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[交流]
关于刻蚀后的性能损伤问题
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请问 关于PZT铁电薄膜刻蚀后的性能损伤问题，虫友们有没有对这方面了解的，诚挚交流，虚心学习。最好有相应资料的能发给我，目前 关于这方面的文献太少了，能回报的是很多金币。谢谢！ |
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 薄膜材料和器件制备 |
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9楼2016-03-01 00:20:27
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2016-02-29 22:18
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llwff3楼
2016-02-29 22:33
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假大空4楼
2016-02-29 22:34
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tan9147楼
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caledonian10楼
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刘清华12楼
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