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123小金人

新虫 (正式写手)

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大佬们,AZ5214光刻胶用SF6气体刻蚀40s下不来了,有没有好的方法去除。

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chipyutek

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丙酮呢,不行就干法打下来

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2楼2023-11-17 22:13:23
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123小金人

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chipyutek at 2023-11-17 22:13:23
丙酮呢,不行就干法打下来

嗐,最后用plasma打下来了

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3楼2023-11-18 00:50:23
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