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1181282205

铁虫 (初入文坛)


[交流] 化学气相沉积法制备碳纳米管

各位大佬我第一次做CVD想在碳纤表面沉积碳纳米管,想让各位帮忙看一下这个流程可不可行,大家有好的文献能分享一下吗?
1.在氩气气氛下450℃一小时除去上浆剂。
2.氩气气氛,流量为0.3L/min,升温至450℃关闭氩气,开启氢气,氢气流量为0.15L/min保温1.5h还原。
3.关闭氢气通入氩气吹扫去除炉腔内氢气,之后在氩气气氛下升温至650℃通入混合气,
氩气:氢气:甲烷=0.3:0.15:0.02L/min,保持5min生长碳纳米管,关闭氢气与甲烷,保持氩气降至室温。

氢气气氛拟采用氢氩比为5:95的混合气体,如果是纯氢气的话采用和氢氩混气一样的流量可以吗?
希望有大佬可以指点指点,第一次用CVD,有可燃气体比较害怕爆炸,需要注意些什么呢?按照我的设计流程的话容易发生意外吗? 甲烷能有什么更好的替代吗?
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chenhuanlong

新虫 (文学泰斗)



1181282205(金币+1): 谢谢参与
3楼2022-06-29 19:52:27
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