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[求助]
ZEP电子束胶与铌酸锂粘附性不太好。可否用真空退火的方法，提高其界面性能？
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| 用ZEP作为电子束刻胶软体掩膜（相当于金属铬硬掩膜版）来做EBL（电子束曝光），用于刻蚀铌酸锂。但是，ZEP电子束胶与铌酸锂粘附性不太好。可否用真空退火的方法，提高其界面性能？ |
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[基金申请]
AI派发是根据关键词、基金题目、研究者研究方向匹配？
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[基金申请]
祈福今年优青或者QB能有个好消息
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5011fudan 2024-05-04 | 13/650 |
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ilyzm 2024-05-03 | 9/450 |
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