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光学轮廓仪、3D轮廓仪、白光干涉仪、激光干涉仪、轮廓仪
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superview w3光学3d表面轮廓仪,为半导体行业微观检测量身打造,具有多个显著的优点:

1.最大300*300mm的行程,可适配12inch及以下的所有尺寸的晶圆;

2.同时兼容12inch及以下规格的真空吸盘,一台设备,即可适用于多条产线;

3.可编程自动化测量,使用“低倍搜索,高倍测量”的方式,可以快速实现多区域的高精度定位测量。

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chotest(金币+1): 谢谢参与
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8楼2021-01-06 08:20:14
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